Das Betarückstreu-Verfahren ist eine nach DIN EN ISO 3543 genormte Methode zur zerstörungsfreien Messung der Schichtdicke von Metallüberzügen – zum Beispiel aus Nickel oder Kupfer – auf Stahl oder Nichteisenmetallen (NE-Metalle).
Wie funktioniert das Betarückstreu-Verfahren? Das Funktionsprinzip ist einfach: Eine Isotopenquelle sendet Betastrahlen – also Elektronen – aus. Diese dringen in die Oberfläche des beschichteten Werkstücks ein und initiieren eine Wechselwirkung mit den Atomen des Schicht- sowie des Grundwerkstoffes. Dabei wird die Anzahl der zurückgestreuten Elektronen mit einer sogenannten Geiger-Müller-Zählröhre gemessen. So lässt sich die Schichtdicke genau bestimmen. Voraussetzung für den Messerfolg ist jedoch, dass sich die Ordnungszahlen „Z“ des Schicht- und des Grundwerkstoffes um mindestens 5 unterscheiden.